技術原理:在真空條件下,采用低電壓、大電流的電弧放電技術,利用氣體放電使靶材蒸發(fā)并使被蒸發(fā)物質電離,在電場的作用下,使被蒸發(fā)物質或其反應產物沉積在工件上。
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